一、應(yīng)用范圍：

       本膜厚監(jiān)控儀適用于真空電阻熱蒸發(fā)、磁控濺射等鍍膜厚度測(cè)量，到達(dá)設(shè)置厚度自動(dòng)關(guān)閉擋板；通過(guò)液晶顯示使您能連續(xù)獲取完整的沉積數(shù)據(jù)，包括速率、厚度和晶體振蕩頻率。

二、技術(shù)參數(shù)：

CY-FTM-V監(jiān)控儀
晶振頻率	6MHz
顯示方式	液晶屏顯示
操作方式	面板按鍵
厚度顯示范圍	0-99μ9999?
厚度顯示分辨率	1?
速率顯示范圍	0-9999.9?
速率顯示分辨率	0.1?/s
鍍膜層數(shù)	16
探頭輸入	4路（任選一路工作）
工具因子	0.01-99.99
材料存儲(chǔ)	52種
鍍膜巡回次數(shù)	0-99
通 訊	RS232
源/擋板	2組繼電器觸點(diǎn)
機(jī)箱尺寸	480×250×89mm(2U 19”機(jī)箱)